設備:膜厚儀F50-XT/ F50-UV
廠商:FILMETRICS
用途:依靠F50的光譜測量系統(tǒng),可以很簡單快速地獲得最大直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標移動平臺,可以非??焖俚亩ㄎ凰铚y試的點并測試厚度。
技術指標:
l 最大適用4英寸晶圓測試,最大測試范圍0-10um
l 測量n和k值最小厚度要求:50nm
l 波長范圍:190-1100nm
l 準確度:0.2%或1nm
l 精度:0.02nm
l 穩(wěn)定性:0.05nm
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