設(shè)備:表面平整度檢測(cè)儀Flat Master 200 SAW
廠商:美國(guó)Corporation Corning Tropel
用途:能夠快速和準(zhǔn)確地對(duì)各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數(shù)進(jìn)行精密測(cè)量適用于,檢測(cè)SiC、GaN、藍(lán)寶石和玻璃等透明材料。
技術(shù)指標(biāo):
l 無(wú)接觸和無(wú)損傷測(cè)試
l 度:50nm (2.0μ″)
l 重復(fù)性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
l 分辨率:5nm (0.2μ″)
l 適用2英寸,4英寸,6英寸,8英寸
l 適應(yīng)于多種類型表面:研磨面、拋光面、超光滑面
地址:廣東省東莞市松山湖國(guó)家高新區(qū)總部一號(hào)12棟5樓
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