設(shè)備:掃描電鏡-能譜儀Sigma 300
廠商:德國蔡司
用途:對材料表面形貌、結(jié)構(gòu)等進行顯微分析,定位缺陷形狀與尺寸,為器件的失效分析提供技術(shù)支持。
技術(shù)指標(biāo):
l 分辨率: 1.2nm @15 kV 2.2nm @1kV
l 放大倍數(shù):10-1,000,000×
l 加速電壓:調(diào)整范圍:0.02-30 kV(無需減速模式實現(xiàn))
l 探針電流: 4pA-20nA (40nA&100nA可選)
l 低真空范圍: 2-133Pa (Sigma 300VP可用)
l 樣品室: 365 mm(φ),275mm(h)
l 樣品臺:5軸優(yōu)中心全自動
X=125mm
Y=125 mm
Z=50 mm
T=-10o-90o
R=360o 連續(xù)
地址:廣東省東莞市松山湖國家高新區(qū)總部一號12棟5樓
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